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Neue Ära für die Halbleiter-Technologie hat begonnen

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AIXUV GmbH entwickelt Technik für die Massenanfertigung modernster Computerchips / Konzeptstudie für SEMATECH


Düsseldorf / Aachen, 28. Januar 2008
Die Signale des renommierten International EUVL-Symposium in Sapporo, Japan, waren deutlich: Die EUV-Lithografie ist die Technologie der Zukunft. Damit hat sich die extrem ultraviolette Strahlung (EUV) gegenüber allen anderen konkurrierenden Ansätzen durchgesetzt. Weder mit Techniken auf Elektronen- noch auf Ionenstrahlbasis lassen sich vergleichbar günstig derartig kleine Computerchips produzieren, wie sie schon bald alle größeren Hersteller anbieten wollen.

Jede gute Technologie benötigt kluge Köpfe, die an die Verwirklichung glauben und diese zielgerichtet verfolgen. Bei AIXUV arbeitet man bereits seit vielen Jahren erfolgreich auf dem Gebiet der EUV-Belichtungstechnologie. So entwickelten die Ingenieure die erste kommerzielle EUV-Lampe und die Messtechnik für den Einsatz im Labor. Unterstützt wurde AIXUV dabei durch die Stars Innovation. Die Venture Capital Gesellschaft aus Düsseldorf ist mit 25,1 Prozent an dem Unternehmen beteiligt.

Ab sofort werden nun bei AIXUV die Beta-Tools entwickelt, mit denen der Einsatz der EUV-Lithografie endlich unter realen Produktionsbedingungen getestet und optimiert werden kann. Die Systeme werden ab 2009 installiert. Die Massenfertigung von Computerchips mittels der Nano-Lithografie soll dann 2011 starten.

Für die Beta-Phase wird AIXUV eine leistungsstärke EUV-Laborlichtquelle auf den Markt bringen, weiterentwickelt wird außerdem der so genannte MBR-Reflektometer, ein sensibles Messgerät für die erhöhten Anforderungen. Zu diesem Zweck bildet AIXUV gerade ein Konsortium, an dem das Fraunhofer Institut für Lasertechnik, der Lehrstuhl „Technologie optischer Systeme“ an der RWTH Aachen und weitere Partner beteiligt sind.

Für die Entwicklung der EUV-fähigen Photolacke erstellt AIXUV derzeit im Auftrag von SEMATECH, dem weltweit führenden IT-Technologie-Entwickler, eine Konzeptstudie für ein neuartiges EUV-Test-Belichtungssystem, das auf dem Prinzip der Interferenz-Lithografie beruht.

Damit etabliert sich AIXUV, eine Ausgründung des Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik (ILT) in Aachen weiterhin in dem entstehenden Milliarden-Dollar-Markt als Entwickler von zentralen Bausteinen für die Herstellung von superschnellen Homecomputern und extrem leistungsstarken Speicherchips.

Zu AIXUV
Mittels der extremen ultravioletten Strahlung (EUV) lassen sich deutlich kleinere Chips produzieren, wie sie alle großen Hersteller wie IBM, Infineon und AMD schon in Kürze anbieten wollen und müssen. Die Ausgründung des international anerkannten Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik (ILT) wurde mit dem renommierten Wissenschaftspreis des Deutschen Stifterverbands ausgezeichnet.

Zu Stars Innovation
Stars Innovation ist ein innovatives Venture Capital Unternehmen mit Sitz in Düsseldorf. Investiert wird in junge und erfolgreiche Unternehmen, und das auf einem bislang einmaligen Weg: Das Angebot der Stars ist nicht nur für wenige Großanleger interessant.


Für den Inhalt der Pressemitteilung ist der Einsteller, Daniel Werkle, verantwortlich.

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